Hệ thống CVD bao gồm hệ thống cung cấp không khí+lò ống+hệ thống bơm khí, nhiệt độ tối đa có thể đạt 1200 độ, 1400 độ, 1600 độ, 1700 độ, khu vực sưởi ấm có thể là khu vực nhiệt độ đơn, khu vực nhiệt độ kép, khu vực nhiệt độ ba, v.v., chân không giới hạn có thể đạt 10-3Pa, hệ thống cung cấp không khí là điều chỉnh lưu lượng có thể là đồng hồ đo lưu lượng proton hoặc đồng hồ đo lưu lượng nổi, số lượng đường hỗn hợp có thể là 2 cách, 3 cách, 4 cách, 5 pha trộn.

Hệ thống CVD vùng nhiệt độ đơn KTL-CVD-1400 bao gồm hệ thống cấp khí 3 chiều+lò ống KTL1400+hệ thống chân không.

(1) Độ dày đầu nóng D1 của thanh silicon molypden là 7mm, 6mm được sử dụng bởi các nhà sản xuất chung, đầu nóng thô, không dễ uốn, tải bề mặt của thanh thấp, tuổi thọ dài.

（2), sử dụng công nghệ uốn nóng, đồng nhất kháng và tuổi thọ dài

(3) Chiều dài đầu lạnh của Lu là 210mm, bếp 400X300X300 là 260, nhà sản xuất thông thường sử dụng 180mm, nhiệt độ đầu bếp dài của đầu lạnh là thấp.

(4), màng vô định hình oxy hóa bề mặt của thanh silicon dày đặc, có thể bảo vệ thanh silicon tốt hơn.

Cuộc họp trống tự động ngắt kết nối khi mạch quá dòng hoặc rò rỉ

Khí quyển lò ốngNhưngĐược trang bị giao diện truyền thông và phần mềm, bạn có thể trực tiếp điều khiển các thông số khác nhau của lò thông qua máy tính, và bạn có thể quan sát giá trị nhiệt độ PV và SV trên lò và điều kiện hoạt động của đồng hồ đo, đường cong sưởi ấm thực tế của lò sẽ được vẽ trong thời gian thực, và bạn có thể giữ dữ liệu nhiệt độ của từng khoảnh khắc, bạn có thể điều chỉnh nó bất cứ lúc nào

(1), chất lượng cao độ tinh khiết cao nhôm oxit polycrystalline chữa lò với hút chân không và lọc hình thành.
(2) Áp dụng công nghệ Nhật Bản để tạo hình.
(3), khả năng chịu nhiệt thấp của vật liệu lò và hệ số dẫn nhiệt thấp, do đó tản nhiệt ít hơn, cách nhiệt tốt và độ phản xạ cao. Nhiệt trường cân bằng.
(4) Lò nhôm oxit dây tốt và dài, chịu nhiệt độ cao, khả năng chống nóng tăng và lạnh mạnh mẽ
(5), bề mặt lò hoàn thiện, không dễ bị mất bột.

(Tất cả các thiết bị điện nhập khẩu được chứng nhận UL)